液晶パネルや半導体製品装置、プラズマディスプレイや有機ELなどの製品を作る過程において、超精密な成膜加工をするため、密閉された真空空間で加工する必要があります。空気やガス、蒸気などの不純物が品質を落とすことに繋がりかねないからです。真空シールはその空間を実現するために必要な、密閉空間を外部から隔離し、作業に必要な運動を伝える役目も担っています。

理学メカトロニクス株式会社では、そんな真空空間を作れるモジュールを扱っています。磁気流体駆動キットは、大気側から真空側へ回転運動を伝える真空シールユニットとモータがひとつになっています。

「クリーン」「高真空」「超寿命」という特徴を持っており、真空装置の試作開発に安心して使うことができます。3タイプの接続方法と2タイプの磁性流体シールから、ニーズに合わせて選ぶことができます。